核心期刊
李葵
（上海同净生物科技有限公司，上海 201900）
摘要：以某氮化镓单晶衬底应用技术研发生产为背景,介绍了其超纯水制备系统工程实例与运行效果。针对半导体生产使用的高标准超纯水水质需满足ASTM D5127—13《电子和半导体行业超纯水标准指南》中对应线宽的水质要求,采用了多级预处理-双级反渗透-电渗析-精处理的超纯水制备工艺。工程运行结果表明,系统产水的电阻率为18.2 MΩ·cm,总有机碳质量浓度为0.71 μg/L,溶解氧质量浓度为2.0 μg/L,硼的质量浓度为0.02 μg/L,钠离子质量浓度为0.01 μg/L,其他离子、细菌、颗粒度均未检出,达到设计标准要求。
（上海同净生物科技有限公司，上海 201900）
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