全国化工给排水设计技术中心站

刘澈１,２，刘昌达１,３，孙文俊３*，张立成１，张元娜３，徐冉龙１,３
（1.沈阳建筑大学市政与环境工程学院，沈阳 110168；2.中国电子工程设计院股份有限公司，北京 100142；3.清华大学环境学院，北京 100084）

摘要：半导体技术的蓬勃发展伴随着大量超纯水需求，确保超纯水稳定高品质制备对半导体行业的发展至关重要。半导体超纯水制备的挑战在于尿素等小分子有机物的少量残留即可对产品质量和产量产生严重的负面影响。而超纯水制备过程中如何实现尿素的痕量检测和高效去除至关重要。总结了质谱、光谱和多参数联用等技术在低浓度尿素检测方面取得的进展，重点介绍了尿素在线检测技术的特点与优势，对比分析了目前超纯水制备中去除尿素的传统工艺和新技术突破，包括膜分离和新型酶包覆膜技术、吸附技术和新吸附材料、高级氧化和新型真空紫外技术等，为超纯水制备过程中尿素检测和去除技术的发展提出了可行性建议。