章华
(浙江华越芯装电子股份有限公司,浙江 绍兴 312000)
摘要:随着超纯水在微电子、电力、化工、生物工程、基本粒子研究等尖端工业的广泛应用,作为超纯水设备的主要部分——反渗透装置的稳定运行显得越来越重要。为使超纯水系统长期稳定地运行,必须做好反渗透装置的运行控制参数工作。文章对反渗透装置进水的SDI(污染指数)、操作压力、温度、pH值和余氯等控制参数与作用进行了简单的阐述。
(浙江华越芯装电子股份有限公司,浙江 绍兴 312000)